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德國小型渦輪分子泵EQ-PV-HVS配有KF40真空波紋管和KF25真空計(jì)，真空范圍從10-3mbar -10-7mbar，啟動后短時(shí)間即可獲得較高的真空水平，且運(yùn)行噪音非常低。

高質(zhì)真空泵（240L/min）YTP550-4E16A是可連續(xù)24h工作的旋片式真空泵，其出氣口上配有立式油污過濾器，可以減少泵油的損耗，同時(shí)避免環(huán)境污染。

進(jìn)口無油真空泵（226L/min）ACP15因?yàn)楸脙?nèi)無油，所以在真空狀態(tài)下無油霧產(chǎn)生，從而為實(shí)驗(yàn)提供了一個(gè)潔凈的低壓環(huán)境，特別適合與我司管式爐配合使用，組成低壓CVD系統(tǒng)。

單級旋片式真空泵TW-3A配有油污過濾器，可以過濾真空泵在工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，不僅保護(hù)人體健康，而且避免對環(huán)境的污染。

雙級旋片真空泵2TW-4C可定制110V。

雙級旋片式真空泵VRD系列包括VRD-8、VRD-16。